電容式位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。它是基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關系，從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。
電容式位移傳感器的測量原理特性：
采用電容式測量原理，需要潔凈和干燥的環境，否則傳感器探頭和被測物體之間的物質介電常數的變化會影響測量結果。我們也推薦任何時候，都盡量縮短探頭到控制器之間的電纜長度。對于標準設備，配備前置放大器，電纜長度設定為1m，（根據不同的模塊選擇，最長能到3m）。如果配備外置放大器，探頭到控制器之間的電纜長度可以達到20m。
電容式位移傳感器一般用于需要很高精度的應用環境。它們被用于測量振動，振蕩，膨脹，位移，撓度和形變等等測量任務。因此，它經常被用作質量保證。
最新型的電容位移，分辨率可以達到納米級別。源于較強的溫度穩定性，在劇烈的溫度波動情況下，電容式傳感器是理想的選擇。
應用案例：剎車盤檢測
電容式位移傳感器的一個典型案例是測量剎車盤在受力的情況下的形變。為了得到更加接近真實剎車情況下的測量結果，剎車盤必須在不好情況下進行測試。
剎車盤以2000rpm的速度旋轉，溫度高達600℃。只有具備高測量速度或者截止頻率的測量手段，才可以不被由于高溫導致的，被測物體磁性和導電性能的變化所影響。傳感器探頭還要提供特別高的分辨率，因為剎車盤受力引起的形變低于100μm。而電容式位移傳感器幾乎滿足所有該應用的需求，是理想的選擇。
