橢偏儀通過測量光在介質表面反射前后偏振態變化，獲得材料的光學常數和結構信息，具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優點。

1、根據研究或測試的材料特性來確定光譜范圍，進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料，考慮關心的折射率光譜區域;對于短波吸收、長波透明材料，如果關心吸收區域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區域來先確定薄膜厚度，然后求解折射率。

 

2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合：多層膜結構、吸收膜、各項異性膜、光學常數沿厚度梯度分布的膜等。

 

3、考慮測量準確性與重度性。橢偏儀重復性定義為儀器多次測量的結果的比較，比較容易定義與比較。一般的測準確性時將空氣作為標準樣品(沒有其他理想的標準樣品)。

 

4、比較分析軟件。橢偏儀測量是一種非直接測量模式，數據需要擬合分析得來，所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結果。