FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設(shè)計(jì)，使用壽命大于5000小時，同時FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性。總的來講，F(xiàn)S-1是一臺簡單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。
FilmSense 橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)：
1、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)。
2、測量精度只有用本儀器才能達(dá)到。
3、快速多次測量（多波長數(shù)據(jù)在10毫秒）且長期可靠性。
4、長壽命（>50000小時），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時校正或周期維護(hù)。
5、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感，能夠準(zhǔn)確的測量薄膜厚度低至0?。
6、橢偏儀是測量比率，所以它對光束強(qiáng)度的變化，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。
7、儀器在每個波長測量2個量(Ψ and Δ)，可以確定2個定量比如薄膜厚度，以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。
FilmSense 橢偏儀的應(yīng)用：
1、FS -1可用于實(shí)驗(yàn)室研究，教學(xué)，在線制程監(jiān)控，工業(yè)品質(zhì)控制等應(yīng)用。
2、半導(dǎo)體行業(yè)：硅的氧化物和氮化物，高和低k介質(zhì)、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠。
3、光學(xué)涂覆工業(yè)：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。
4、顯示行業(yè)：導(dǎo)電層（如ITO），非晶硅薄膜、有機(jī)薄膜（OLED技術(shù)）。
5、數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)業(yè)：類金剛石薄膜。
6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征（速率和光學(xué)常數(shù)）對應(yīng)工藝條件的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。
7、化學(xué)和生物：亞-單層材料吸附液體中的細(xì)胞實(shí)驗(yàn)檢測。
8、工業(yè)：在線監(jiān)測和控制薄膜的厚度。
